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BSG/PSG碱抛上下料机
摘要说明 :
上料机是将堆叠在料盒里面的硅片传输到碱抛工艺主机,下料机是将碱抛工艺主机产出的硅片传输到花篮里。
示意图
基本参数
10道尺寸:5600*5600*2600mm(长*宽*高)
12道尺寸:6800*5300*2600mm(长*宽*高)
产能:16000片/小时(直传式六通道)
15000片/小时(单侧四通道)
13000片/小时(双侧双通道)
标准配置
可选配置
设备特性
  • 视觉检测:PSG上——崩边碎片/隐裂
  • PSG下——过刻/连片/水滴/缺口
  • 碱抛下——缺、双片/带液/错齿/插片不齐
  • AGV自动对接/RFID追溯/MES/数据采集
  • 上料机优点:设备产能高,12道理论产能≥16500pcs/h
  • 设备尺寸小,4.2米宽,5.5米长,方便处理异常
  • 硅片直传,不换向,运行异常少
  • 可提前给AGV缺料信号,稳定供料,提高实际产出
  • 皮带传输速度较慢,传输平稳
  • 下料机优点:设备产能高,12道182产能≥16500pcs/h
  • 设备尺寸小,5.2米宽,6米长,方便处理异常
  • 硅片直传,不换向,硅片传送不易歪片,堵片
  • 堵片等异常造成的返工流片数量少
  • 皮带传输速度较慢,传输平稳